蚀刻加工过程中的精度和侧蚀问题介绍

发布时间：2018-05-19 00:58点击量：

在蚀刻加工的工艺中，除不经任何防蚀处理的整体蚀刻方法外，都必须要注意防蚀层下蚀刻的“蔓延”问题，也就是我们常说的侧腐蚀。侧腐蚀的大小直接关系到图文的精度和蚀刻线条的极限尺寸。通常把防蚀层下的水平方向的蚀刻宽度A称为侧蚀量，侧蚀量A与蚀刻深度H的比值就是侧蚀率F：

蚀刻的精度和侧蚀问题介绍

F=A/H式中：A为侧蚀刻量(mm)，H为蚀刻深度(mm)；F为侧蚀刻率或腐蚀因素，用以表示不同条件下侧蚀刻量与蚀刻深度之间的关系。

以上有关圆弧R的大小受蚀刻深度，被蚀刻窗口的最小宽度与蚀刻深度的比值、蚀刻液的组成、蚀刻方法及材料种类等的影响较大。侧蚀刻的量决定了化学蚀刻的精度，侧蚀量越小，加工的精度越高，适用的范围就越宽，反之，加工的精度低，适用范围小。

侧蚀量的大小主要受金属材料的影响，在常用的几种金属材料中，以铜的侧蚀量最小，铝的侧蚀量最大。选择更为优越的蚀刻剂，虽然蚀刻的速度提高并不明显，但的确可改善金属蚀刻加工的侧蚀量。

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