化学蚀刻中常见的问题

发布时间：2018-05-19 01:28点击量：

化学蚀刻中常见的问题有：

1、边缘轮廓线不清楚，这种情况是因为零件表面沾污，如手印、化学污染、氧化膜、防蚀层边缘不清晰等，还有就是蚀刻液浓度不在工艺规定范围内，这种情况下首先需要加强各工序管理，防止二次污染，在蚀刻之前对防蚀层检查要严格，其次分析调整蚀刻液各成分至工艺规定范围。

2、粗糙的蚀刻表面，被蚀刻表面有沟槽、留痕及点蚀，其主要原因是蚀刻液中AI3+浓度太高，NaOH浓度太高或太低，蚀刻后酸洗后，漂洗不净，纠正的方法就是分析调整蚀刻液各成份浓度到工艺规定范围，加强酸洗后的水洗质量。

3、形成凹坑主要是因为蚀刻液中AI3+浓度及NaOH浓度太高，处理的方法就是稀释蚀刻液，降低浓度。